10月8日，自治区科学技术厅下发了《关于下达2021年第七批自治区本级财政科技计划项目的通知》。华锡集团、广西科技大学和柳州华锡有色设计研究院联合申报的“低温烧结高致密度氧化铟锡靶材的制备研究”项目被列为重点研发计划，并获得150万元项目研究资金。

       该项目意在研究全新的ITO靶材制备思路，从而生成新的工艺技术，绕开外国专利壁垒。
 

ITO靶材
 

ITO靶材

        “高密度氧化铟锡靶材”为我们常说的ITO靶材，该材料通过磁控溅射工艺，在玻璃基板或有机薄膜上镀上一层透明、导电薄膜。该材料广泛应用于液晶显示、通讯显示和豪华汽车，航空飞机防雾玻璃等领域。
 

表面探伤仪检测ITO靶材平整度及裂纹

       据了解，目前日本日矿、三井、东曹和韩国三星康宁均已在中国大陆申请了多项ITO靶材专利，设置了技术壁垒。如果“跟着走”，国产ITO产品大规模产业化后将面临缴纳巨额专利费的风险。
 

ITO靶材表面磨平处理
 

       这项新技术的研究，将借助华锡集团丰富的铟锡资源和ITO靶材制备的技术积累，通过与广西科技大学的强强联合，力争三年内，突破ITO靶材制备关键技术瓶颈，打破垄断。